8 (905) 200-03-37 Владивосток
с 09:00 до 19:00
CHN - 1.14 руб. Сайт - 21.13 руб.

Микроэлектронная система (MEMS) и MDASH;

Цена: 2 143руб.    (¥101.39)
Артикул: 619990346087

Вес товара: ~0.7 кг. Указан усредненный вес, который может отличаться от фактического. Не включен в цену, оплачивается при получении.

Этот товар на Таобао Описание товара
Продавец:新华文轩旗舰
Рейтинг:
Всего отзывов:0
Положительных:0
Добавить в корзину
Другие товары этого продавца
¥47.31 000руб.
¥42.5899руб.
¥9.19195руб.
¥202.94 288руб.
  • Информация о товаре
  • Фотографии

Микроэлектроника (MEMS)—&-Компоненты, схемы и технологии и приложения системной интеграции.

делать  (США) Викас&миддот;Чоудхури, (плюс) Кшиштоф&миддот; Под редакцией Иневского. Перевод Чжоу Хайсяня и др.
Конечно   цена:139
из&Ensp; издание&Encp; Общество:Машиностроительная промышленность Пресса
Дата публикации:1 мая 2020 г.
Страница &Nbsp; номер:383
Пакет   кадр:Оплата в мягкой обложке
ISBN:9787111649588
Оглавление
●Переводчик
Предисловие
Часть I. Прорывные технологии
Глава технологический прорыв—&-Микросистемы к микронаносистемам 2
1.1 От микроэлектроники к микросистемам
1.2 Микросистемы: связь между нанотехнологиями и макроскопическими областями 12
1.3 Нанотехнологии снизу вверх: будущее наноэлектромеханических систем 13
1.4 Резюме и перспективы 15
Спасибо 15
Ссылки 15
Глава 2 High-k диэлектрик HfO217 в МЭМС
2.1 Обзор 17
2.2HfO2 Технология изготовления тонких пленок 18
2.2.1 Различные технологии нанесения покрытий 18
2.2.2 Покрытие и слой термического роста 18
2.3 Допирование интерфейса 1
2.4 Технология радиационных испытаний 24
2.5 Резюме и перспективы 31
Благодарности 31
Ссылки 32
Глава 3 Пьезоэлектрическая пленка МЭМС 34
3.1 Обзор 34
3.2 Технология изготовления пьезоэлектрической пленки 34
3.3. Пьезоэлектрические свойства тонких пленок 38
3.4. Бессвинцовая пьезоэлектрическая пленка 45.
3.5. Технология изготовления микроактюаторов с использованием пьезоэлектрических пленок 47
3.6 Резюме 55
Ссылки 55
Глава 4 КМОП-системы и интерфейсы в приложениях микрогироскопов высокого разрешения 58
4.1 Обзор 58
4.2 Электронная система управления гироскопом 62
4.3 Практический пример: камертонный гироскоп с согласованием по шаблону 64
4.4 Резюме и перспективы 75
Ссылки 76
Глава 5. Объемный акустический гироскоп 78
5.1 Обзор 78
5.2 Принцип работы 78
5.3 Конструкция объемного акустического гироскопа 80
5.4 План реализации объемно-акустического гироскопа 86
5.5. Технология измерений объемно-акустическим волновым гироскопом 89
5.6 Резюме 93
Благодарности 93
Ссылка 94
Глава 6. Применение технологии механического гибкого межсоединения и технологии «через кремний» в интегрированных системах КМОП/МЭМС 96
6.1 Обзор 96
6.2 Необходимость МЭМС и интеграции схем 97
6.3 Общая технология интеграции 97
6.4 Технология гибкого ввода-вывода и гибкого механического интерфейса (MFI) 100
6.5 Практический пример: технология MFI 101
6.6 Практический пример: технология TSV для MEMS 106
6.7 Резюме 109
Рекомендации 109
Глава 7. Пьезоэлектрический MEMS вибрационный сборщик энергии, модель 113
7.1 Зачем использовать сборщик энергии из окружающей среды 113
7.2 Общая модель 115
7.3 Консольная балка модели 122
7.4 Полное моделирование системы 132
7.4.1 Процесс проектирования 132
7.4.2 Определение модели 133
7.4.3 Оценка 134
7.4.4 Переменные процесса 134
7.5 Резюме 134
Приложение 135
Ссылки 136
Глава 8. Схема интерфейса емкостного МЭМС-гироскопа 139
8.1 Принцип работы МЭМС-гироскопа 139
8.1.1 Эффект Кориолиса 139
8.1.2 Возбуждение режима привода 142
8.1.3 Совпадающие и несовпадающие шаблоны 144
8.2 Схема считывания 145
8.2.1 Технология непрерывного измерения 145
8.2.1.1 Усилитель с разомкнутым контуром 146
8.2.1.2 Трансимпедансный усилитель 148
8.2.2 Дискретная выборка 149
8.2.3 Обсуждение 152
8.3 Учет неидеальных факторов 152
8.3.1 Квадратурная ошибка 153
8.3.2 Непосредственно связанное движение 153
8.3.3 Проблемы с фазами в цепях управления 154
8.4 Резюме 154
Ссылки 155
Глава 9. Электромеханические схемы в надежных высокопроизводительных гироскопических системах 156
9.1 Обзор 156
9.2 Принцип работы вибрационного гироскопа 156
9.3 Системное проектирование цифрового гироскопа 159
9.3.1. Идеальная конструкция КМОП-системы в схеме обработки сигналов гироскопа 160
9.4 Источники ошибок гироскопа 161
9.4.1 Ошибка смещения 161
9.4.2 Квадратурная ошибка 161
9.4.3 Ошибка фазы привода 161
9.4.4 Дрейф со временем и температурой 162
9.5 Методы исправления ошибок и электромеханические схемы 162
9.6 Схема привода 164
9.7 Надежность 167
9.8 Полная система 168
9.9 Новые приложения 169
Благодарности 173
Ссылки 173
Часть Ⅱ Новые приложения на основе МЭМС
Глава 0. Объемные резонаторы акустических волн в системах мобильной связи 176
10.1. Концепция резонатора BAW 176
10.1.1 Конструктивная форма резонатора ОАВ 177
10.1.2 Кривые пьезоэлектричества и импеданса 178
10.2BAW модель 179
10.2.1 Одномерная модель Мерсенна, основанная на физике 179
10.2.2 Улучшенный Баттерворт&Middot; поклонник&Миддот;Dyck Модель 181
10.3 Важные рабочие параметры резонаторов BAW 182
10.3.1 Эффективный коэффициент связи k2eff182
10.3.2 Коэффициент качества Q183
10.3.3k2eff и Q184
10.4 Механизм потерь и Q185
10.6 Резюме 191
Благодарности 191
Ссылки 191
Глава 1. Широкополосные ультразвуковые передатчики и сенсорные матрицы в воздушной среде 194
11.1 Обзор 194
11.2 Технология ультразвуковых преобразователей 194
11.4 Отзывы 201
11.5 Приложение 20
11.6 Резюме 210
Спасибо 210
Ссылки 210
Глава 2 Спектрометр Фурье-преобразования на основе МЭМС со слоистой решеткой 213
12.1 Обзор 213
12.2МЭМС-спектрометр со слоистой решеткой 215
12.3 Резонансно-сканирующий МЭМС-спектрометр с многослойной решеткой Фурье-преобразования 220
12.4 Статическая МЭМС-спектрометр со слоистой решеткой Фурье-преобразования 227
12.5 Резюме 230
Ссылки 231
Глава 3 МЭМС-резонаторы в радиочастотных приложениях 233
13.1 Обзор 233
13.2 Базовые знания о МЭМС-резонаторах 233
13.3 Применение МЭМС-резонаторов 241
13.4 История развития МЭМС-резонаторов 242
13.5 Радиоприемопередатчики на базе MEMS 247
13.6 Механические схемы, содержащие МЭМС-резонаторы 249
13.6.1 МЭМС-фильтры на основе резонаторов 249
13.6.2 Резонаторная решетка МЭМС 253
13.7 Практический пример: Разработка МЭМС-резонаторов 256
13.8 Практический пример: системы на основе резонаторов 261
13.8.1 Генератор на основе МЭМС-резонаторной матрицы 261
13.8.2 Передатчик с частотной манипуляцией на основе программируемого МЭМС-резонатора 263
Ссылки 265
Глава 4. Использование портативных инерционных и магнитных компонентов МЭМС-датчиков и методов оценки траектории для полной реконструкции положения и регистрации движения твердого тела: приложение для отслеживания и записи биомаяков 269
14.1 Обзор 269
14.2 Мотивация и проблемы 270
14.3 Материалы и методы 271
14.4 Метод расчета ориентации: дополнительный фильтр 272
14.5 Тестовая проверка 275
14.6 Трехмерная оценка положения при ходьбе 277
14.7 Резюме 282
Благодарности 282
Ссылки 282
Глава 5. Приводы и приложения MEMS беспроводного дистанционного управления 285
15.1 Обзор 285
15.2 Беспроводное приведение в действие тепловых микроактюаторов: принцип работы 287
15.3. Радиочастотное активирование гидрогелей и их применение в имплантируемых устройствах доставки лекарств 288
15.4 Беспроводной микрозажим SMA 291
15.5 Беспроводное управление несколькими микроактюаторами 294
15.6 Резюме 299
Спасибо 299
Ссылки 299
Глава 6. Усовершенствованная технология MEMS тактильного зондирования и срабатывания 303
16.1 Обзор 303
16.1.1 Материалы исполнительных устройств для тактильных датчиков MEMS 303
16.1.2 Нажмите 303
16.2 Тактильный датчик 306
16.3 Тактильные приводы 319
16.4 Резюме 325
Ссылка 328
Глава 7 Устройство микронагревательной пластины на основе МЭМС 331
17.1 Текущий технический уровень 331
17.2 Процесс проектирования микронагревательных пластин 332
17.3 Технология производства 339
17.4 Характеристики микронагревательной пластины 341
17.5 Микронагревательная пластина для металлооксидных газовых датчиков 343
17.6 Микронагревательная пластина радиатора 344
Спасибо 346
Ссылка 346
Глава 8. Беспроводные сенсорные сети с использованием инерциальных датчиков 348
18.1 Инерционное измерительное устройство 348
18.1.1 Инерциальная навигация 348
18.1.2 Характеристики ошибок MEMSIMU 349
18.2 Беспроводные сенсорные сети 351
18.2.1 Физический уровень и уровень управления доступом к среде 351
18.2.2 Сеть 352
18.2.3 Шлюз для беспроводных сенсорных сетей 353
18.3 Беспроводные сенсорные сети Инерциальные датчики 353
18.3.1 Проектирование аппаратного обеспечения 354
18.3.2 Антенна 355
18.3.3 Проектирование программного обеспечения 357
18.4 Приложение 358
18.5 Резюме 360
Ссылка 360
Глава 9 Пассивные радиочастотные акустические датчики и системы в проводных и беспроводных приложениях 362
19.1 Обзор 362
19.2 Основные принципы работы акустических радиочастотных датчиков 363
19.3 Технология запросов 368
19.4 Эффективное внедрение систем акустических радиочастотных датчиков 377
19.4.1 Измерение температуры 377
19.4.2 Датчики температуры и давления 377
19.4.3 Пример химического датчика: обнаружение водорода 379
19.5 Резюме 380
Спасибо 381
Ссылка 381
Пунктирное содержание

краткое введение

Всего в этой книге 19 глав, разделенных на две части: Главы ~9 представляют собой часть, посвященную прорывным технологиям, в которой обсуждаются различные новые устройства микроэлектромеханических систем (МЭМС); Главы 0–19 представляют собой прикладную часть, в которой подробно описываются различные новые приложения на основе МЭМС.Каждая глава в этой книге является полной и может читаться отдельно или в сочетании с другими главами.Эту книгу могут прочитать инженеры и дизайнеры, занимающиеся МЭМС-датчиками, чипами и системными приложениями в области интеллектуальных систем, военной, аэрокосмической, бытовой электроники, носимых устройств, умных домов, системной биотехнологии, синтетической биологии и микрофлюидных технологий. Его также можно использовать в качестве справочника для студентов, аспирантов и преподавателей смежных специальностей в колледжах и университетах.