краткое введение
Книга разделена на 8 глав. Основное содержание включает: очистку поверхности, обработку вакуумных материалов, дегазацию вакуумных материалов, технологию обнаружения вакуумных систем, анализ и измерение остаточных газов в вакуумных системах, эксплуатацию и техническое обслуживание вакуумных систем, технологию сварки для вакуумной техники, технологию герметизации для вакуумной техники, электрический пробой вакуумных устройств и профилактические меры.
Эта книга объединяет базовую теорию и технологию практического применения, а также органично сочетает теорию с инженерной практикой.Он подходит для технических специалистов, занимающихся исследованиями, проектированием, эксплуатацией и обслуживанием оборудования в области вакуумных технологий, тонкопленочной и поверхностной инженерии, материаловедения, криогенной техники, прикладной физики, механического проектирования и других отраслей. Он также подходит для технических специалистов и студентов, которые проводят научные исследования и эксперименты, связанные с вакуумными технологиями. Он также может быть использован в качестве учебного материала и справочника для преподавателей и студентов профильных специальностей в колледжах и университетах.