
краткое введение

Поскольку размер элементов процессов интегральных схем достигает узлов ниже 28 нм, традиционная планарная структура MOSFET больше не применима, а новая структура трехмерного транзистора (FinFET) постепенно стала важной гарантией продолжения действия закона Мура. Эта книга начинается с принципов и физических эффектов трехмерных структур и подробно обсуждает предпосылки, принципы, параметры и методы реализации компактной модели FinFET (BSIM-CMG); в нем также обсуждаются имитационные модели, используемые при проектировании аналоговых и радиочастотных интегральных схем.В этой книге избегается вывод сложных формул и проводится более прямой анализ механизмов, стремясь дать читателям возможность понять характеристики и использование BSIM-CMG на уровне процесса и устройства.Эту книгу можно использовать в качестве профессионального учебника и справочника для преподавателей старших курсов и аспирантов по специальностям микроэлектроника, твердотельная электроника, электронная информационная инженерия и т. д. Ее также можно использовать в качестве руководства по модели FinFET для инженеров, занимающихся моделированием интегральных схем.






































