8 (905) 200-03-37 Владивосток
с 09:00 до 19:00

Над крупномасштабной интегрированной цепью передовой теория оптических случаев и обзор оптической технологии Wayi Applical

Цена: 5 262руб.    (¥249)
Артикул: 595745661095

Вес товара: ~0.7 кг. Указан усредненный вес, который может отличаться от фактического. Не включен в цену, оплачивается при получении.

Этот товар на Таобао Описание товара
Продавец:弗洛拉图书专营店
Адрес:Шаньдун
Рейтинг:
Всего отзывов:0
Положительных:0
Добавить в корзину
Другие товары этого продавца
¥ 39 28.3598руб.
¥25.3535руб.
¥11233руб.
¥5106руб.
  • Информация о товаре
  • Фотографии


Параметры продукта

Теория усовершенствованного света и применение негабаритных интегрированных цепей
      Ценообразование260.00
ИздательScience Press
Издание1
Опубликованная датаДекабрь 2018 года
формат128
авторВеййичи
УкраситьВ твердом переплете позвоночника
Количество страниц 576
Число слов  
Кодирование ISBN9787030482686
Введение

Оптическая технология является основной технологией всего микро -девисного производства.Особенно при изготовлении интегрированных цепей, именно из -за постоянного улучшения литографической технологии, то есть закон Мура (интеграция устройства поворачивается каждые два года).Эта книга охватывает основные аспекты современной оптической технологии, включая оборудование, материалы, моделирование (расчет литографии) и технологии. Содержание напрямую основано на международных технологиях производства интегрированных цепей. узлы.Многие примеры процессов приведены в книге. Эти случаи были проверены производством, надеясь вдохновить читателей.

Оглавление

Предисловие


Глава 1 Обзор технологии LightScape

1.1 Технологический узел полупроводниковых технологий

1.2 Структура и легкое осаждение интегрированной цепи

1.3 Процесс оптической гравировки

1.4 Глубина разрешения и фокусировки системы экспозиции

1.4.1 разрешение

1.4.2 Глубина фокуса

1.4.3 Модуляция и трансферная функция

1.5 Для процесса коррекции проектирования и данных макета

1.6 Критерии оценки литографического процесса

1.7 Переосмысление клея

1.8 Обнаружение дефектов в процессе литографии

1.8.1 Проверка дефектов в легкой пленке после вращения

1.8.2 Решение о графике после воздействия

1.9 Стоимость процесса легочной резьбы

1.10 Hyundai Lights Изучение ремесленных исследований и разработки различных деталей

1.10.1 Разделение рабочей силы в оптических резьбах пластинного растения и креста и сдерживания между каждой единицей

1.10.2 Модель исследований и разработок пионерских огней резных технологий

1.10.3 Связь между стереотипами света и травлением

Рекомендации


ГЛАВА 2 ПЛАСТИЧЕСКИЙ ПЛАСТИКИ

2.1 Структура машины для дисплея равномерного клея

2.2 Процедура управления различным процессом отображения глоссома

2.3 Основной процессной блок в машине дисплея в однородном клеве

2.3.1 Обработка обработки адгезии поверхности пластины

2.3.2.

2.3.3 Выпекание и охлаждение

2.3.4 Экспозиция

2.3.5 Дисплей

2.4 Блок процесса очистки

2.4.1 Удалите ионную полоску воды

2.4.2.

2.5 подсистемы в универсальном клеевом дисплее

2.5.1 Система химической жидкости.

2.5 .2

2.5.3 Система сбора жидкости отходов

2.5.4 Система баз данных

2.6 Мониторинг производительности камеры униформного клея дисплея

2.6.1 Мониторинг толстого клея

2.6.2 Мониторинг частиц на клейкой пленке после вращения

2.6.3 Мониторинг графических дефектов после разработки

2.6.4 Мониторинг температуры теплового диска

2.7 Онлайн -блок измерения, интегрированные в камеру универсального клея

2.7.1 Блок измерения глиппа

2.7.2 Обнаружение дефекта клея пленки

2.7.3 Используйте динамику в процессе процесса мониторинга in situ высокоскоростной камеры

2.8 Поправки к процессу закрытого склада на дисплее Mate

2.9 Тест на получение после установки оборудования для однородного клея

2.9.1 Тест частиц

2.9.2 Принятие блока увеличения света

2.9.3 Принятие единообразии и стабильности вращения

2.9.4 Проверка в однородности и стабильности разработки

2.9.5 Тест на надежность системы

2.9.6 Тест производственной мощности

2.9.7 Требования к робототехнике

2.11

Рекомендации


Глава 3 Оптическая машина и приложение

3.1 Принцип работы на вырезанной проекционной световой машине

3.1.1 Пошаговое сканирование экспозиции

3.1.2 Процесс экспозиции фотокардовой машины

3.1.3 Настройки рабочих файлов экспозиции

3.1.4 ВВЕДЕНИЕ

3.2 Источник света и дизайн световой дороги оптической резьбы

……

ГЛАВА 4 СВОБОДА МАТЕРИАЛ

Глава 5, покрывающие шаблон и управление

Глава 6 Apity и установите управление ошибками

Глава 7 Расчет и расчет. Огни расчета и расчета

Глава 8 Настройка и мониторинг процесса вырезанного света

Глава 9 Ясны от рабочих и легкого оборудования

Глава 1 Двойная и многоптическая технология

Глава 1 Extreme UV (EUV) технология LightScape

Сравнение с легкой резьбой китайской и английского языка

Цветная карта