Ультра -масштабная интегрированная схема Персонал
Вес товара: ~0.7 кг. Указан усредненный вес, который может отличаться от фактического. Не включен в цену, оплачивается при получении.
Описание товара
Название книги: Передовая теория фотолитографии и применение крупномасштабных интегральных схем
Цена: 260 юаней
Автор: Вэй Яи
Пресса: Science Press
Дата публикации: 2016-06-01
ISBN: 9787030482686
Слова: 780000
Номер страницы: 558
Издание: 1
Переплет: Твердый переплет.
Открыто: 16
Товарный вес:
Технология литографии является основной технологией производства всех микронаноустройств.Закон Мура (интеграция устройств удваивается каждые два года или около того) может продолжать действовать, особенно в производстве интегральных схем, именно благодаря постоянному совершенствованию технологии фотолитографии.«Теория и применение передовой литографии больших интегральных схем» охватывает основные аспекты современной технологии литографии, включая оборудование, материалы, моделирование (компьютерная литография) и процессы. Содержание напрямую взято из передовых международных технологий производства интегральных схем. Чтобы обеспечить прогресс, особое внимание уделяется технологиям ниже 32-нм узла.В книге приводится множество примеров процессов, проверенных на реальном производстве, и я надеюсь, что они смогут вдохновить читателей.«Теория и применение усовершенствованной литографии крупномасштабных интегральных схем» может использоваться в качестве справочника для студентов старших курсов и аспирантов колледжей и университетов, специалистов по проектированию и производству интегральных схем, а также инженеров-разработчиков микро-наноустройств и инженеров-технологов.