Графическая запись полупроводникового производственного оборудования и конструктивная лекция Оригинальная книга 3 -е издание серии интегрированных схем и технологий Sato Junichi Circount Scirent
Вес товара: ~0.7 кг. Указан усредненный вес, который может отличаться от фактического. Не включен в цену, оплачивается при получении.
Описание товара
- наименование товараГрафическая запись (3 -е издание оригинальной книги оборудования для производства полупроводников и конструктора)/Интегрированная серия науки и технологии
- автор(День) Сато Джуничи
- ОбвинятьЯн Юань
- ПереводчикЛу Тао
- Ценообразование99.00
- Номер ISBN9787111708018
- ИздательMachinery Industry Press
- Версия1 версия один раз
- формат16
- УкраситьОплата в мягкой обложке
- Количество страниц198
- Опубликованная дата2022-06
- Время печати2022-06
В этой книге показана фундамент и структура оборудования, используемую в процессе производства полупроводников с простой и четкой структурой.Книга охватывает текущее состояние и перспективы производственного оборудования для полупроводников. В то же время, в то же время, оборудование для очистки и сушки, оборудования для ионного впрыска, оборудование для тепловой обработки, оптическое резное оборудование, оборудование для травления, оборудование для формирования пленки, плоское оборудование, оборудование, оборудование, оборудование. Оборудование для мониторинга и анализа, обработка обработки задней части и т. Д. Объясните его по главе.Хотя он содержит много отрядочного словаря, ценно, что книга предоставляет богатые картины и формы, чтобы помочь читателям понять.Я полагаю, что эта книга определенно приведет читателей в трехмерный мир производственного оборудования для полупроводников.
Эта книга подходит для практикующих, занимающихся полупроводникой и обработкой и дизайном чипов, а также офисными работниками и студентами, которые готовятся участвовать в вышеуказанных областях.
Предисловие
Глава 1 Статус индустрии производственного оборудования для полупроводников
1.1 Общее просмотр полупроводниковых производственных оборудования
Статус производственного оборудования для полупроводников
Контекст этой книги
Взаимосвязь между производственным оборудованием и процессом производственного процесса
1.2 Рыночный размер оборудования для производства полупроводников
Размер рынка полупроводниковой промышленности
Размер рынка электронной промышленности
Размер рынка кремниевых пластин
1.3 Производитель полупроводникового оборудования и перенос парадигмы
Производственное оборудование полупроводникового рассвета
Изменение производителей производственного оборудования для полупроводников
Парадигма
Литейные·Дебют худшей фабрики
1.4 Текущая ситуация производителя японского полупроводникового оборудования
Структура полупроводниковой промышленности
Текущая ситуация домашних производителей полупроводников в Японии
Застоя японских производителей
1.5 Статус -кво на фабрике пластин
Различные продукты и полупроводниковые пластины
Гигантская пластина
1.6 Разнообразие фабрики Wanes
Эффективность производства фабрики пластин
План, кроме гигантской пластины
План мини -пластинного фабрики
исследовать и развивать
Будущая проблема производителей оборудования
1.7 Текущая ситуация с кремниевой пластиной 450 мм
Силиконовая пластина размер
450 мм тенденция
Глобальное 450 -миллиметровое движение
Трудности в производственном оборудовании полупроводников
Глава 2 Понимание оборудования для производства полупроводников на фабрике пластин
2.1 Процесс предварительного разрешения и процесс пост -сечения
Классификация процесса полупроводникового процесса
Спереди и сзади
2.2 Цель силиконовых пластин
Силиконовая пластина и производственное оборудование для полупроводников
2.3 Оборудование для стены и производства
Что такое перевозчик пластин?
Стены и оборудование
2.4 Завод и производственное оборудование на стенах
Что такое фабрика пластин?
Учиться с перспективы транспортировки пластин
2.5 Dust Free Room и производственное оборудование
Какая комната без пыли?
Без пыль обрабатывающего оборудования
2.6 Микро среда
Что такое микро -среда?
Что такое Фуп?
2.7 Производительность, необходимая для производственного оборудования
Производственное оборудование необходимо для выполнения производительности и функции удовлетворения
2.8 Услуги, чтобы дать жизнеспособность полупроводникового оборудования
средство
Услуги, необходимые для фабрики пластин
2.9 Производственные мощности производственного оборудования и эксплуатация пластинного завода
Каковы производственные мощности производственного оборудования?
Скорость вращения производственного оборудования
2.10 Производственное оборудование и управление производством
Что такое управление производством?
AEC/APC
Стандартизация оборудования
Глава 3 Оборудование для очистки и сушки
3.1 Что такое чистящее и сушильное оборудование?
Элементы чистящего оборудования
Элементы чистящего и сушильного оборудования
3.2 Классификация чистящего оборудования
Общая классификация оборудования для очистки
Классификация чистящего оборудования в соответствии с методологией
3.3 Оборудование для чистки партии
Что такое пакетная чистящая оборудование?
Мульти -строй и одиночная канавка
3.4 Оборудование для очистки одного типа
Что такое оборудование для чистки с одним из них?
Однопроизводительное оборудование
3.5 Новое чистящее оборудование
Оборудование для очистки паров с высокой частотой
УФ (UV)/Озоновое оборудование для очистки
Ультра -низкое температурное оборудование для очистки газовых растворов
Различное чистящее оборудование на фабрике пластин
3.6 Необходимое оборудование для сушки после очистки
Какое сухое оборудование?
Вращающийся метод сушки
Метод сушки IPA
3.7 Новое сушильное оборудование в разработке
Элементы оборудования малайса
Элементы оборудования для сушки ротаго
Глава 4 Ионно -инъекционное устройство
4.1 Что такое ионное устройство впрыска?
Что такое инъекция ионов?
Композиция устройства впрыска ионов
4.2 Ионный источник
Газ, содержащие ионные вещества
Friman Ion Source
Ионный источник Bernus -типа
4.3 стены и оборудование для инъекций ионов
Сканирование стен в устройстве ионов впрысков
Тема оборудования для сканирования пластин
4.4 Устройство инъекционного впрыска CMOS
CMOS, образованные различными диффузионными слоями
Разное ускоренное ионное оборудование для инжекции энергии и тока луча
Другая технология инъекции ионной инъекции
4.5 Альтернативная технология, введенная в инъекцию ионов
Плазма легированное устройство
Лазерное легированное устройство
Глава 5 Оборудование для тепловой обработки
5.1 Что такое оборудование для тепловой обработки?
Что такое оборудование для восстановления кристаллов?
Элементы оборудования для тепловой обработки
5.2 Пакетное оборудование для тепловой обработки с долгой историей
О оборудовании для тепловой обработки
Кварцевая печь тепловой обработки
5.3 ОДИН -ПИАЛЬНОЕ РАБОТА
Что такое устройство RTA?
Измерение температуры
Огни оборудования RTA
5.4 Последнее оборудование для лазерного отжига
Что такое лазерный отжиг?
Разница между лазерным оборудованием отжига и оборудованием RTA
5.5 Стандартные лазерные источники
Что такое стандартный лазер?
Лазерный путь к устройству
Что такое твердый лазер?
ГЛАВА 6 ОБОРУДОВАНИЕ СВОБОДА
6.1 Различное легкое оборудование для гравировки
Что такое легкая резьба и оборудование фотоколи?
Процесс процесса и оборудования для гравировки света
6.2 Определить рафинированное оборудование для экспозиции
Различные методы экспозиции оборудования для экспозиции
Как нарисовать устройство микрокосмптивного экспозиции
Композиция устройства экспозиции
Оптическая система экспозиционного оборудования
6.3. Содействие развитию источников света экспозиции в рафинированном процессе
История источника света
Будущий источник света
6.4 Экспозиция оборудования для антикоррозионного покрытия
Отношения между сопротивлением и покрытием
Реалистичное оборудование вращения
Элементы оборудования для антикоррозионного покрытия
6.5 Демонстрационное оборудование, необходимое после экспозиции
Что такое витрина?
Реальное оборудование в действительности
Накопление жидкости о витрине
6.6 Интеграция оборудования для леговой резьбы
Что такое интернализация?
Три -мерная тенденция
6.7 серое оборудование
Что такое серый?
Серая технология и оборудование
Встроенный в серо -офф оборудование
6.8 Оборудование для воздействия погружения в Lydum
Что такое жидкое оборудование для экспозиции?
Принципы и темы технологии воздействия жидкого погружения
6.9 Оборудование, необходимое для двойных схем
Что такое двойной шаблон?
Какое оборудование нужно?
Будущий предмет
6.10 Дальнейшее стремление к утонченным устройствам EUV
Что такое технология экспозиции EUV?
Percit -Optic System и Mask
Тема оборудования для экспозиции EUV
6.11 Технология и оборудование для формирования маски
Маска (зрелище) и ее прогресс
О EB Direct -Painted Equipment
Глава 7 Eclipse Equipment
7.1 Что такое технология травления и оборудование?
Что такое процесс травления?
7.2 Элементы оборудования из этики
Состав оборудования для травления
Ремесленная комната сухого травления
7.3 Метод применения и оборудование для травления высокочастотного источника питания
Условия для плазмы
Что такое плазменный потенциал?
Преимущества катодной связи
Устройство пленки, классифицированное по классификации процессов
7.4 История оборудования для травления
Дебют сухого метода
Эволюция сухого оборудования для травления
7.5 Кластерное инструмент -на основе сухого травления оборудования
Что такое кластерный инструмент?
Различные кластерные инструменты
7.6 Другое сухое оборудование для травления
Захватить оборудование, которое адаптируется к высокой точности
Глава 8 МАССИНТА
8.1 Что такое оборудование для формирования пленки?
Каково формирование фильма полупроводниковых технологий?
Конституционный элемент оборудования для формирования пленки
Заглушки и методы формирования пленки
8.2 Основа в фундаменте: оборудование для окисления горячего окисления
Технология и оборудование окисления кремния
Составляющий элемент оборудования для окисления кремния
8.3 Исторически оборудование CVD постоянного давления
Каков процесс CVD нормального давления?
Учредительный элемент оборудования CVD нормального давления
Пример оборудования CVD нормального давления
8.4 Устройство CVD -декомпрессии передней части
Что такое процесс декомпрессии сердечно -сосудистых заболеваний?
Учредительный элемент декомпрессионного оборудования ССЗ
8.5 Металлическая пленка декомпрессия CVD оборудование
Что такое процесс формирования металлической пленки?
Упаковка оборудования для формирования вольфрамового фильма
8.6 Оборудование с низкой температурой плазмы CVD
Что такое плазменное судно?
Установленные элементы оборудования плазмы CVD
8.7 Splane Equipment, необходимое для металлических мембран
Принципы метода распыления
Что такое цель?
Преимущества и недостатки метода распыления
8.8 Инкрустационная структура и гальваническое оборудование
Что такое процесс гальванизации?
Конституционный элемент покрытия оборудования
8.9 Оборудование для покрытия с низким K (низкопрофильная электрическая постоянная), необходимое для формирования пленки
Зачем мне применять ремесло?
Тема процесса покрытия
Состав оборудования для покрытия
8.10 Применение устройства ALD в стеке Gate-K Gate
ALD-процесс и стек Gate-K Gate
Учредительный элемент устройства ALD
8.11 Si-GE Extension Enturection Special Equipment с особым использованием
Что такое процесс роста расширения?
Состав оборудования для роста удлинения
Расширение штамма кремния и Si-ge
ГЛАВА 9 Плотное оборудование Африки
9.1 Характеристики плоского оборудования
Плоские технологии и оборудование
Учредительный элемент плоского оборудования
9.2 Различное дебютное оборудование.
Плоское оборудование для ремня
Директивизированное плоское оборудование
9.3 Собранное оборудование и функция посторонней связи
Что такое чистка после квартиры?
Учредительные элементы модуля Post -Cleaning
9.4 Что такое плоская шлифовальная головка?
Что такое держатель?
Что такое обратный фильм?
Что такое триммер?
9.5 шлифовальная жидкость и шлифовальная подушка плоского оборудования
Поставка шлифовальной жидкости
Шлифовальная подушка
9.6 Механизм мониторинга конечных точек
Что такое мониторинг конечных точек?
Фактический метод мониторинга конечных точек
Оборудование для мониторинга и анализа главы 10
10.1 Измерительное оборудование, которое работает после процесса
Содержание измерения
Полупроводниковая инженерная и определение содержания
Требования к производительности
10.2 Станция мониторинга в предыдущем процессе раздела
Сводка оборудования для мониторинга появления
Резюме микроскопа со стороны
10.3 Нашел оборудование для контроля поверхности частиц
Гранулы - враги
Принципы мониторинга частиц
Фактическая ситуация оборудования для мониторинга поверхности
10.4 Оборудование для мониторинга дефицита с шаблонами.
Что такое оборудование для мониторинга дефектов с шаблонами пластин?
Принципы с шаблонами
Сводка мониторинга оборудования с помощью пластин
10.5 SEM используется для наблюдения за планом
Что такое SEM?
SEM Резюме
10.6 Мониторинг изысканного размера SEM
Что такое длина теста SEM?
Принцип длины тестирования SEM
10.7 Оптическое оборудование для мониторинга, необходимое для легочной резьбы
Что такое точность перекрытия?
Принципы перекрывающегося мониторинга
10.8 Оборудование для измерения толстых мембраны и другое измерительное оборудование
Принцип измерения толстой мембраны
Тенденция микроскопа
Другое измерительное оборудование
10.9 Наблюдайте за ПЭМ/FIB секции
Что такое ТЕМ?
Что такое FIB?
Приложение FIB
10.10 Увеличьте скорость готовой продукции за счет мониторинга и анализа интеграции оборудования
Основное знание анализа дефектов
Используйте FMB для сравнения
Глава 11 Процедура оборудования
11.1 Процесс процесса и основное оборудование процесса постороннего процесса
Что такое процесс пост -процедуры?
Пластины и оборудование последнего раздела процесса
11.2 Обнаружение оборудования для измерения электрических характеристик
Роль обнаружения оборудования
Что такое оборудование для обнаружения?
Что такое зонда?
11.3 Оборудование для шлифования с тонкими вафонами
Что такое шлифование назад?
Сводка оборудования для фрезерования
11.4 Slip of Rutch Chip
Фактический ломтик
Резюме Slicer
11.5 Патч -машина, которая подходит для чипа
Что такое патч?
Метод патча
Резюме машины патча
11.6 Игровое оборудование, используемое для комбинации свинцовой рамки
Принципы линии
Резюме линейного оборудования
11.7 Пластиковое и герметичное оборудование для упаковочных чипсов
Процесс процесса пластикового уплотнения
Сводка оборудования для пластикового уплотнения
11.8 Оборудование для удаления и упаковки облигаций
Что такое печатное оборудование?
Упаковочное оборудование
11.9 Окончательное оборудование для мониторинга и стареющее оборудование
Окончательный проект мониторинга процесса Post -Process
Что такое старение?
Что такое стареющее оборудование?
Сато Джуничи, степень магистра в аспирантуре инженерной школы в Университете Киото.Он присоединился к Tokyo Electric Chemistry Industry Co., Ltd. (ныне TDK) в 1978 году; присоединился к Sony Co., Ltd. в 1982 году.Он занимался полупроводниковым и кинооборудованием, а также в исследованиях и разработке технологий процессов.Тем временем он был заимствован, когда была основана технология полупроводникового разрезания, и у него был опыт в частичных лекторах Министерства инженерии Университета Нагасаки и члена отраслевого комитета.
Лу Тао, уроженец Чанчжоу, Цзянсу, степень магистра в области инженерии в Центральном университете Японии.Профиль для различных процессов и разработки производственного оборудования для полупроводников, и участвовал в реальной передаче и анализе состояния состояния состояния данных полупроводниковых фабриков.
