краткое введение
Эта книга принимает фактическое применение в качестве отправной точки и вводит основную технологию процессов, производимая интегрированным производством схем один за другим. Введен процесс, такой как разработка технологии изоляции, технология фильма жесткого покрытия, технология процесса LDD, салицид Технология процесса, технология процесса ESD IMP, AL и Cu Metal Interconnection.Затем примените эти технологии к фактическому процессу процесса, чтобы читатели могли быстро освоить практическое применение конкретной технологии процесса.Эта книга направлена на то, чтобы ввести полупроводниковую технологию для друзей, занимающихся полупроводниковой промышленностью, предоставляя те, кто в отрасли, справочник, который легко понять и в сочетании с фактическим применением.Эта книга также можно прочитать для студентов и учителей микроэлектроники и интегрированных цепей.
