
Введение в контент

Технология МЭМС развивается очень быстро по мере понимания людьми нетрадиционной физики.Только глубоко поняв ее основные принципы, мы сможем способствовать совершенствованию технологии МЭМС, проектированию и производству микроэлектромеханических систем и обеспечению их широкого использования в существующих и предполагаемых областях.Эта книга является основной частью справочника по МЭМС и содержит литературу и ссылки по теоретическим и техническим основам МЭМС.Помимо введения в физику, механику жидкости, механику, оптику, электричество и смазку МЭМС на микроуровне, книга также включает материалы по теории управления, распределенному управлению и мягким вычислениям.Они охватывают различные важные основы для будущих приложений, применение которых к микросенсорам и микроактюаторам обеспечивает эффективное управление, экономящее энергию и улучшающее производительность искусственных устройств.Эту книгу могут использовать технические специалисты и проектировщики МЭМС, а также в качестве справочного материала для студентов старших курсов и аспирантов, специализирующихся в области МЭМС.











